激光干涉儀工作原理

2013-06-25

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干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。