紅外增透保護薄膜的研究及應用

針對機載紅外搜索跟蹤系統(tǒng)和彈載紅外精確制導系統(tǒng)對紅外增透保護薄膜技術的迫切需求，基于使役環(huán)境和薄膜光學要求進行膜系優(yōu)化設計，采用過濾陰極真空電弧、磁控濺射等技術制備非晶金剛石、非晶碳化鍺、磷化物、氧化物等薄膜材料，利用多種表征方法分析薄膜的鍵合結構、光學和力學性能，確定結構和性能的精細調控方法，強化膜系與基底結合，研究大尺寸平面/半球面膜系的均勻沉積方法，最終獲得滿足服役要求的紅外窗口/整流罩增透保護膜。

本工作揭示了紅外增透保護膜的氣動熱/力失效機制，提出抗氣動熱/力失效多光譜紅外增透保護膜的概念和利用反濺輔助實時強化紅外增透保護膜的方法，建立大口徑紅外窗口/整流罩增透保護膜系及其制備方法的成套技術，成功應用于某機載和彈載光電部件，在解放軍某廠實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，獲國家技術發(fā)明獎二等獎。本報告將綜述哈爾濱工業(yè)大學的相關研究成果，并展望紅外增透保護薄膜技術的未來發(fā)展趨勢。